Temiz oda, havasındaki parçacık konsantrasyonunun, sıcaklık, nem ve basınç gibi diğer ilgili parametrelerin gerektiği şekilde kontrol edildiği alandır.
Yapılan Uygulamalar
Lazer Litografi ile 1 Mikrometre Çözünürlükte Maske Hazırlama
Lazer Litografi ile 1 Mikrometre Çözünürlükte Desenleri Direk Alttaş Üzerine Yazdırma
MJB4 Mask Aligner ile Fotorezist Kaplı Alttaş Üzerine Desen Oluşturma
Alttaş Üzerine Organik ve İnorganik Kaplama
Kimyasal Yöntemlerle Yüzey Temizleme
Gerçekleştirilen Projeler
Biyo Uygulamalar İçin Manyetodirenç Etkili Planar Hall Sensörünün Geliştirilmesi
